全球訊息：微導納米：國內少數以ALD技術為核心的薄膜沉積設備生產商正式登陸科創板

（原標題：微導納米：國內少數以ALD技術為核心的薄膜沉積設備生產商正式登陸科創板）

12月23日，國內少數以ALD技術為核心的薄膜沉積設備生產商———微導納米（證券代碼：688147.SH）正式登陸科創板，開啟公司高質量發展新篇章。公司表示，未來將繼續以薄膜沉積技術為重要抓手，不斷豐富產品矩陣，力爭成為世界級的微納技術解決方案裝備制造商。

事實上，當前國內硬科技產業鏈正迎來國產替代機遇期，薄膜沉積設備作為晶圓制造三大設備之一自立自強呼聲漸高。微導納米作為行業內極少數的新進入者和國產廠商代表之一，有望通過自主研發創新進一步打破國外壟斷，加速國產化替代進程，助力我國高精尖產業自主可控長期目標的實現。

(資料圖)

自立自強：堅持自主研發，打造公司核心競爭壁壘

資料顯示，微導納米成立于2015年，是工信部第三批專精特新“小巨人”企業。公司以原子層沉積（ALD）技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉積設備的研發、生產和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產品及服務。公司立足 ALD技術和產品，拓展了PECVD、PEALD 二合一等產品類型，目前已經實現在光伏、半導體、柔性電子領域的產業化應用。

公司始終堅持高強度研發投入，夯實核心競爭壁壘。2019年至2022年第三季度，公司研發支出占營業收入比例不斷提升，分別為14.41%、17.19%、22.68%、24.29%，高強度的研發投入為公司增強核心競爭優勢、實現中長期戰略發展夯實了根基。

截至目前，微導納米已形成原子層沉積反應器設計技術、高產能真空鍍膜技術、真空鍍膜設備工藝反應氣體控制技術等多項核心技術，上述核心技術已成功應用于公司各類產品。公司光伏領域設備2018年被評為江蘇省首臺（套）重大裝備產品，半導體領域設備2021年成為國產首臺成功應用于28nm節點集成電路制造前道生產線的原子層沉積設備。除此之外，微導納米目前擁有專利97項，承擔了多項省級科研項目，具備可持續的研發創新能力。

憑借行業需求的快速增長和公司深厚的技術沉淀，2019—2021年，公司實現營業收入21581.56萬元、31255.41萬元和42791.71萬元，年均復合增速40.81%，業績增長顯著。截至2022年第三季度，公司在手訂單合計19.75億元，同比增長120%，充足的在手訂單為公司后期業績增長奠定了基礎。

深拓市場：積極豐富產品序列，加速國產替代

近年來，受益于全球半導體需求增加與產線產能的擴充，以及技術演進帶來的增長機遇，薄膜沉積設備市場規模快速成長。根據Maximize Market Research 數據，2020年，全球半導體薄膜沉積設備市場規模172億美元，同比增長10.97%， 預計至2025年市場規模可達340億美元，2020-2025年CAGR為14.60%。

與此同時，隨著國家對半導體產業的持續投入以及本土企業的快速發展，國產設備進口替代加速。根據公司招股書數據，半導體薄膜沉積設備的國產化率由2016年的5%提升至2020年的8%。從細分品類看，PVD設備與CVD設備均已初步實現國產化，而ALD設備作為先進制程所必須的工藝設備，在大規模量產方面國內廠商尚未形成突破，因此其國產替代需求尤為迫切。

在此背景下，公司積極豐富產品序列，不斷拓寬下游應用，助力國產設備實現產業化。

具體來看，在光伏領域，公司產品對行業領先的電池片廠商實現了較高的客戶覆蓋率。公司在光伏電池片薄膜沉積領域積累了豐富的技術與產品經驗，樹立了良好的市場口碑，與國內前十名電池片企業均建立了合作關系，服務包括通威太陽能、隆基股份、 晶澳太陽能、阿特斯、天合光能等在內的多家知名太陽能電池片生產商。太陽能電池片技術路線目前正由PERC工藝向新型高效電池（TOPCon、XBC、HJT等）發展，公司在行業中已率先取得多家頭部電池片企業TOPCon、XBC產線的設備訂單，并根據下游廠商在HJT電池、鈣鈦礦疊層電池等其他新型高效電池的量產節奏儲備相關技術和產品。

在半導體領域，公司產品已實現銷售，掌握多份訂單、產品技術驗證合作。2021年，公司首臺半導體領域設備實現銷售，該臺設備為國產首臺成功應用于28nm節點集成電路制造前道生產線的量產型High-k原子層沉積設備。公司打破了該工藝技術被國外廠家壟斷的局面，實現了“卡脖子”技術突破。憑借產品突出的技術優勢，公司半導體專用設備產品獲得多家國內知名半導體公司的商業訂單，并與多家國內主流半導體廠商及驗證平臺簽署了保密協議并開展產品技術驗證等工作。

為進一步加速公司高質量發展，公司擬通過本次登陸科創板契機繼續升級打造以ALD技術為核心的光伏及半導體設備，持續推動優化產品類型、拓寬應用領域，在行業競爭中保持較強的技術優勢。廣發證券研報表示，公司已成為國內主要的光伏鍍膜設備企業之一，其ALD設備在行業中處于優勢地位。未來，隨著主要客戶市占率的不斷提升及生產經營規模的不斷擴大，公司產品的市場滲透率有望進一步提升，從而促進公司業績的持續增長。

標簽： 薄膜沉積