（原標題：微導(dǎo)納米：國內(nèi)少數(shù)以ALD技術(shù)為核心的薄膜沉積設(shè)備生產(chǎn)商正式登陸科創(chuàng)板）

12月23日，國內(nèi)少數(shù)以ALD技術(shù)為核心的薄膜沉積設(shè)備生產(chǎn)商———微導(dǎo)納米（證券代碼：688147.SH）正式登陸科創(chuàng)板，開啟公司高質(zhì)量發(fā)展新篇章。公司表示，未來將繼續(xù)以薄膜沉積技術(shù)為重要抓手，不斷豐富產(chǎn)品矩陣，力爭成為世界級的微納技術(shù)解決方案裝備制造商。

事實上，當(dāng)前國內(nèi)硬科技產(chǎn)業(yè)鏈正迎來國產(chǎn)替代機遇期，薄膜沉積設(shè)備作為晶圓制造三大設(shè)備之一自立自強呼聲漸高。微導(dǎo)納米作為行業(yè)內(nèi)極少數(shù)的新進入者和國產(chǎn)廠商代表之一，有望通過自主研發(fā)創(chuàng)新進一步打破國外壟斷，加速國產(chǎn)化替代進程，助力我國高精尖產(chǎn)業(yè)自主可控長期目標的實現(xiàn)。

(資料圖)

自立自強：堅持自主研發(fā)，打造公司核心競爭壁壘

資料顯示，微導(dǎo)納米成立于2015年，是工信部第三批專精特新“小巨人”企業(yè)。公司以原子層沉積（ALD）技術(shù)為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設(shè)備、配套產(chǎn)品及服務(wù)。公司立足 ALD技術(shù)和產(chǎn)品，拓展了PECVD、PEALD 二合一等產(chǎn)品類型，目前已經(jīng)實現(xiàn)在光伏、半導(dǎo)體、柔性電子領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

公司始終堅持高強度研發(fā)投入，夯實核心競爭壁壘。2019年至2022年第三季度，公司研發(fā)支出占營業(yè)收入比例不斷提升，分別為14.41%、17.19%、22.68%、24.29%，高強度的研發(fā)投入為公司增強核心競爭優(yōu)勢、實現(xiàn)中長期戰(zhàn)略發(fā)展夯實了根基。

截至目前，微導(dǎo)納米已形成原子層沉積反應(yīng)器設(shè)計技術(shù)、高產(chǎn)能真空鍍膜技術(shù)、真空鍍膜設(shè)備工藝反應(yīng)氣體控制技術(shù)等多項核心技術(shù)，上述核心技術(shù)已成功應(yīng)用于公司各類產(chǎn)品。公司光伏領(lǐng)域設(shè)備2018年被評為江蘇省首臺（套）重大裝備產(chǎn)品，半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備2021年成為國產(chǎn)首臺成功應(yīng)用于28nm節(jié)點集成電路制造前道生產(chǎn)線的原子層沉積設(shè)備。除此之外，微導(dǎo)納米目前擁有專利97項，承擔(dān)了多項省級科研項目，具備可持續(xù)的研發(fā)創(chuàng)新能力。

憑借行業(yè)需求的快速增長和公司深厚的技術(shù)沉淀，2019—2021年，公司實現(xiàn)營業(yè)收入21581.56萬元、31255.41萬元和42791.71萬元，年均復(fù)合增速40.81%，業(yè)績增長顯著。截至2022年第三季度，公司在手訂單合計19.75億元，同比增長120%，充足的在手訂單為公司后期業(yè)績增長奠定了基礎(chǔ)。

深拓市場：積極豐富產(chǎn)品序列，加速國產(chǎn)替代

近年來，受益于全球半導(dǎo)體需求增加與產(chǎn)線產(chǎn)能的擴充，以及技術(shù)演進帶來的增長機遇，薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模快速成長。根據(jù)Maximize Market Research 數(shù)據(jù)，2020年，全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模172億美元，同比增長10.97%， 預(yù)計至2025年市場規(guī)模可達340億美元，2020-2025年CAGR為14.60%。

與此同時，隨著國家對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)投入以及本土企業(yè)的快速發(fā)展，國產(chǎn)設(shè)備進口替代加速。根據(jù)公司招股書數(shù)據(jù)，半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的國產(chǎn)化率由2016年的5%提升至2020年的8%。從細分品類看，PVD設(shè)備與CVD設(shè)備均已初步實現(xiàn)國產(chǎn)化，而ALD設(shè)備作為先進制程所必須的工藝設(shè)備，在大規(guī)模量產(chǎn)方面國內(nèi)廠商尚未形成突破，因此其國產(chǎn)替代需求尤為迫切。

在此背景下，公司積極豐富產(chǎn)品序列，不斷拓寬下游應(yīng)用，助力國產(chǎn)設(shè)備實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

具體來看，在光伏領(lǐng)域，公司產(chǎn)品對行業(yè)領(lǐng)先的電池片廠商實現(xiàn)了較高的客戶覆蓋率。公司在光伏電池片薄膜沉積領(lǐng)域積累了豐富的技術(shù)與產(chǎn)品經(jīng)驗，樹立了良好的市場口碑，與國內(nèi)前十名電池片企業(yè)均建立了合作關(guān)系，服務(wù)包括通威太陽能、隆基股份、 晶澳太陽能、阿特斯、天合光能等在內(nèi)的多家知名太陽能電池片生產(chǎn)商。太陽能電池片技術(shù)路線目前正由PERC工藝向新型高效電池（TOPCon、XBC、HJT等）發(fā)展，公司在行業(yè)中已率先取得多家頭部電池片企業(yè)TOPCon、XBC產(chǎn)線的設(shè)備訂單，并根據(jù)下游廠商在HJT電池、鈣鈦礦疊層電池等其他新型高效電池的量產(chǎn)節(jié)奏儲備相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)品。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司產(chǎn)品已實現(xiàn)銷售，掌握多份訂單、產(chǎn)品技術(shù)驗證合作。2021年，公司首臺半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備實現(xiàn)銷售，該臺設(shè)備為國產(chǎn)首臺成功應(yīng)用于28nm節(jié)點集成電路制造前道生產(chǎn)線的量產(chǎn)型High-k原子層沉積設(shè)備。公司打破了該工藝技術(shù)被國外廠家壟斷的局面，實現(xiàn)了“卡脖子”技術(shù)突破。憑借產(chǎn)品突出的技術(shù)優(yōu)勢，公司半導(dǎo)體專用設(shè)備產(chǎn)品獲得多家國內(nèi)知名半導(dǎo)體公司的商業(yè)訂單，并與多家國內(nèi)主流半導(dǎo)體廠商及驗證平臺簽署了保密協(xié)議并開展產(chǎn)品技術(shù)驗證等工作。

為進一步加速公司高質(zhì)量發(fā)展，公司擬通過本次登陸科創(chuàng)板契機繼續(xù)升級打造以ALD技術(shù)為核心的光伏及半導(dǎo)體設(shè)備，持續(xù)推動優(yōu)化產(chǎn)品類型、拓寬應(yīng)用領(lǐng)域，在行業(yè)競爭中保持較強的技術(shù)優(yōu)勢。廣發(fā)證券研報表示，公司已成為國內(nèi)主要的光伏鍍膜設(shè)備企業(yè)之一，其ALD設(shè)備在行業(yè)中處于優(yōu)勢地位。未來，隨著主要客戶市占率的不斷提升及生產(chǎn)經(jīng)營規(guī)模的不斷擴大，公司產(chǎn)品的市場滲透率有望進一步提升，從而促進公司業(yè)績的持續(xù)增長。

標簽： 薄膜沉積